高分辨x射線顯微鏡幾個軸線在同一直線(即光軸)上的空心金屬圓柱體,或顯微鏡平行排列且中心有圓孔的金屬膜片就是具有軸對稱結構的電極。當它們加有一定電壓時,便可產生軸對稱分布的靜電場。這種撲電場可以使顯微鏡電子聚焦成像,因此稱為靜電顯微鏡。靜電透鏡有多種不同的類型。如果以加電壓后在對稱軸上產生的電位分布為特點,則大致可把顯微鏡分成四類:
單電位透鏡一高分辨x射線顯微鏡左右兩側的軸上電位是常數而且數值相等:浸沒透鏡一顯微鏡左右兩則的軸上電位各是常數但數值不等單光闌透鏡(也稱膜孔透鏡)一透鏡的作用集中在膜片圓孔附近。顯微鏡兩則的軸上電場強度各為常數。單獨的圓孔膜片沒有什么用處,但是它往往可用作某些復雜透鏡的組成部分:
浸沒物鏡一發射電子的物直接浸沒在這類顯微鏡的電場中,而透鏡另一側(即像方)的軸上電位是常數。除第4類外,其他三種睜電透鏡都可以看作顯微鏡,并從而推導出它們的物方焦距人和像方焦距關。第1,2兩類透鏡的焦距公式為:
不難證明單電位透鏡和浸沒透鏡中的焦距恒為正值,這意味著這些顯微鏡永遠是會聚的。而單光闌透鏡是唯一可構成發散透鏡,至于浸沒物鏡的性能要根據具體情況來分析。鼓典型的一種例子是用于顯微鏡和其他電子束管中的電子槍。它的作用是形成有一定截面形狀和電流強度的電子束。