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PRODUCT CLASSIFICATION少子壽命測試儀µPCD/MDP (MDPpro 850+)用于單晶硅錠、硅磚和硅晶圓片的生產(chǎn)和質(zhì)量監(jiān)控。用于HJT、HIT、TOPcon、雙面PERC、PERC+太陽能電池、鈣鈦礦等中的硅材料。
MDPmap單晶和多晶硅片壽命測量儀被設(shè)計成一個緊湊的臺式非接觸電學(xué)表征工具,用于離線生產(chǎn)控制或研發(fā),在穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵(μ-PCD)下,在一個寬的注入范圍內(nèi)測量參數(shù),如載流子壽命、光導(dǎo)率、電阻率和缺陷信息。自動化的樣品識別和參數(shù)設(shè)置允許輕松適應(yīng)各種不同的樣品,包括外延層和經(jīng)過不同制備階段的晶圓,從原生晶圓到高達95%的金屬化晶圓。
MDPlinescan在線少子壽命測試儀靈活的OEM少子壽命測試儀器,用于各種不同樣品的少子壽命測量,從單晶硅磚到多晶硅磚,從生長的硅片到不同層或金屬化的硅片的過程控制。標(biāo)準(zhǔn)的軟件接口,便于連接到許多處理或自動化系統(tǒng)。
MDPspot少子壽命測試儀低成本桌面單點測量硅片或晶磚,用于在不同制備階段表征各種不同的硅樣品,無需內(nèi)置自動化。可選手動操作的z軸厚度高達156毫米的硅磚樣品,高達156毫米硅磚,結(jié)果可視化的標(biāo)準(zhǔn)軟件。
弗萊貝格的MDPpro(MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命)系列主要用于測量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等,其非接觸式檢測和無損成像(μPCD /MDP(QSS))的設(shè)計*符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)PV9-1110。這也使得該儀器在晶圓切割、爐內(nèi)監(jiān)控和材料優(yōu)化等領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用。可以說,MDPpro是晶錠生產(chǎn)商以及晶體爐技術(shù)生產(chǎn)商d的標(biāo)準(zhǔn)儀器。
MDPmap(MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試)是一個緊湊的離線臺式檢測設(shè)備,主要被設(shè)計用于生產(chǎn)控制或研發(fā)、測量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和缺陷信息等參數(shù)。其工作狀態(tài)為穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵下(μ-PCD)。
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