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靈活的OEM設備,用于多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶硅到多晶硅錠,從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標準軟件接口,易于連接到許多處理或自動化系統。
晶圓片在線面掃檢測儀是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時間內,就可以“動態”測量出晶圓圖。
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