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MDPinline(MDP高速晶圓片在線面檢測儀--少子壽命檢測)是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時間內,就可以“動態”測量出晶圓圖。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓撲結構,有效提高了生產線的成本效益和效率。且其實時質量檢測可以提高和優化諸如擴散和鈍化等處理步驟。
德國弗萊貝格儀器的MDPinline ingot(MDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試)系統是快速多晶硅晶錠電學參數特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時間里測量其四面。所有的圖譜(壽命,光電導率,電阻率)都可以同時進行測量。
德國Freiberg Instruments的MDPicts(MDP微波探測光誘導電流瞬態譜儀--少子壽命),非接觸且無損傷,用于溫度依賴的少數載流子壽命測量以及半導體的界面陷阱和體陷阱能級的電性能表征。MDpicts將在半導體材料的基礎研究與開發領域取得廣泛的應用。
臺式PID(Potential Induced Degradation)潛在誘導退化測試儀,用于c-Si太陽能電池和光伏迷你組件的售前和安裝后質量檢測。
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